Какво е CVD TAC покритие?

Както всички знаем,TaCима точка на топене до 3880°C, висока механична якост, твърдост, устойчивост на термичен удар; добра химическа инертност и термична стабилност към амоняк, водород, съдържащи силиций пари при високи температури.

CVD TAC покритие, химическо отлагане на пари (CVD) напокритие от танталов карбид (TaC)., е процес за формиране на дълготрайно покритие с висока плътност върху субстрат (обикновено графит). Този метод включва отлагане на TaC върху повърхността на субстрата при високи температури, което води до покритие с отлична термична стабилност и химическа устойчивост.

Основните предимства на CVD TaC покритията включват:

Изключително висока термична стабилност: издържа на температури над 2200°C.

Химическа устойчивост: може ефективно да устои на агресивни химикали като водород, амоняк и силициеви пари.

Силна адхезия: осигурява дълготрайна защита без разслояване.

Висока чистота: минимизира примесите, което го прави идеален за полупроводникови приложения.

Тези покрития са особено подходящи за среди, които изискват висока издръжливост и устойчивост на екстремни условия, като производство на полупроводници и високотемпературни промишлени процеси.

В промишленото производство графитните (въглерод-въглеродни композитни) материали, покрити с TaC покритие, е много вероятно да заменят традиционния графит с висока чистота, pBN покритие, части с покритие SiC и т.н. Освен това в областта на космическата промишленост TaC има голям потенциал за да се използва като високотемпературно антиокислително и анти-аблационно покритие и има широки перспективи за приложение. Въпреки това, все още има много предизвикателства за постигане на подготовката на плътно, еднородно, нелющещо се TaC покритие върху повърхността на графита и насърчаване на индустриалното масово производство.

В този процес изследването на защитния механизъм на покритието, иновациите в производствения процес и конкурирането с най-високото чуждестранно ниво са от решаващо значение за растежа и епитаксията на полупроводникови кристали от трето поколение.