Носач за вафли от SiC с висока чистота

VeTek Semiconductor предлага персонализиран носач за пластини от SiC с висока чистота. Изработен от силициев карбид с висока чистота, той разполага с прорези за задържане на пластината на място, предотвратявайки плъзгането й по време на обработка. При необходимост се предлага и CVD SiC покритие. Като професионален и силен производител и доставчик на полупроводници, носителят за вафли с висока чистота на VeTek Semiconductor е с конкурентна цена и високо качество. VeTek Semiconductor очаква с нетърпение да бъде ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

VeTekSemi Носачът за пластини от SiC с висока чистота е важен лагерен компонент, използван в пещи за отгряване, дифузионни пещи и друго оборудване в процеса на производство на полупроводници. Носачът за вафли от SiC с висока чистота обикновено се изработва от материал от силициев карбид с висока чистота и включва главно следните части:

• Поддържащо тяло за лодка: структура, подобна на скоба, специално използвана за носенесилициеви пластиниили други полупроводникови материали.

• Подпорна конструкция: Конструкцията на носещата структура му позволява да понася големи натоварвания при високи температури и няма да се деформира или повреди по време на обработка с висока температура.

silicon carbide material

материал от силициев карбид

Физически свойства наПрекристализиран силициев карбид：

Собственост	Типична стойност
Работна температура (°C)	1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)
Съдържание на SiC	> 99,96%
Безплатно Si съдържание	< 0,1%
Обемна плътност	2,60-2,70 g/cm3
Видима порьозност	< 16%
Сила на натиск	> 600 MPa
Якост на студено огъване	80-90 MPa (20°C)
Якост на горещо огъване	90-100 MPa (1400°C)
Термично разширение @1500°C	4,70*10^-6/°C
Топлопроводимост @1200°C	23 W/m•K
Модул на еластичност	Модул на еластичност 240 GPa
Устойчивост на термичен удар	Изключително добре

Ако изискванията на производствения процес са по-високи,CVD SiC покритиеможе да се извърши върху носача за вафли от SiC с висока чистота, за да достигне чистотата повече от 99,99995%, като допълнително подобрява неговата устойчивост на висока температура.

Основни физични свойства на CVD SiC покритие:

Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност	3,21 g/cm³
твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

По време на високотемпературно третиране носачът за лодка за пластини SiC с висока чистота позволява на силиконовата пластина да се нагрява равномерно, за да се избегне локално прегряване. В допълнение, високата температурна устойчивост на материала от силициев карбид му позволява да поддържа структурна стабилност при температури от 1200°C или дори по-високи. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

По време на процеса на дифузия или отгряване, конзолната лопатка и носачът за вафли от SiC с висока чистота работят заедно. Theконзолно греблобавно избутва носача на лодка за пластини SiC с висока чистота, носещ силиконовата пластина в камерата на пещта и я спира на определено място за обработка.

Носачът за вафли с висока чистота SiC поддържа контакт със силициевата подложка и е фиксиран в определена позиция по време на процеса на топлинна обработка, докато конзолната лопатка помага да се поддържа цялата структура в правилната позиция, като същевременно се гарантира равномерност на температурата.

Носачът за вафли от SiC с висока чистота и конзолното гребло работят заедно, за да осигурят точността и стабилността на високотемпературния процес.

VeTek Semiconductorви предоставя персонализиран носач за пластини от SiC с висока чистота според вашите нужди. Очакваме вашето запитване.

VeTek SemiconductorМагазини за носачи за лодки с вафли SiC с висока чистота:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Горещи маркери: Носител за вафли от SiC с висока чистота, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализиран, купува, усъвършенстван, издръжлив, произведен в Китай

Продуктов етикет

Свързана категория