SiC покритие за палачинки за LPE PE3061S 6'' вафли

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор в Китай на палачинков приемник с покритие от SiC за LPE PE3061S 6" пластини. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC в продължение на много години. Предлагаме палачинков приемник с покритие от SiC, проектиран специално за LPE PE3061S 6" пластини . Този епитаксиален фиксатор се характеризира с висока устойчивост на корозия, добра топлопроводимост, добра равномерност. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Като професионален производител, VeTek Semiconductor би искал да ви предостави висококачествен SiC покритие за палачинки за LPE PE3061S 6'' вафли.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor за LPE PE3061S 6" вафли е критично оборудване, използвано в процесите на производство на полупроводници.

SiC покритие за палачинки за LPE PE3061S 6" вафли Характеристики на продукта:

Високотемпературна стабилност: SiC проявява отлична високотемпературна стабилност, запазвайки своята структура и производителност в среда с висока температура.

Изключителна топлопроводимост: SiC има изключителна топлопроводимост, позволяваща бърз и равномерен пренос на топлина за бързо и равномерно нагряване.

Устойчивост на корозия: SiC притежава отлична химическа стабилност, устойчива на корозия и окисление в различни нагряващи среди.

Равномерно разпределение на нагряването: Покритият със SiC носител за вафла осигурява равномерно разпределение на нагряването, осигурявайки равномерна температура по повърхността на вафлата по време на нагряване.

Подходящ за производство на полупроводници: Носителят на Si епитаксия на пластини се използва широко в процесите на производство на полупроводници, особено за растеж на Si епитаксия и други процеси на високотемпературно нагряване.

Предимства на продукта:

Подобрена производствена ефективност: Покритият със SiC палачинков приемник позволява бързо и равномерно нагряване, намалявайки времето за нагряване и повишавайки ефективността на производството.

Гарантирано качество на продукта: Равномерното разпределение на топлината осигурява последователност по време на обработката на вафли, което води до подобрено качество на продукта.

Удължен живот на оборудването: SiC материалът предлага отлична устойчивост на топлина и химическа стабилност, допринасяйки за по-дълъг живот на палачинковия приемник.

Персонализирани решения: SiC-покрит приемник, Si-епитаксиален носител за пластини могат да бъдат пригодени към различни размери и спецификации въз основа на изискванията на клиента.

SEM data and structure of CVD SIC films

Основни физични свойства на CVD SiC покритие:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност	3,21 g/cm³
Твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE)	4.5×10-6K-1

Цех за производство на полупроводници VeTek

VeTek Semiconductor Production Shop

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Горещи маркери: SiC покритие за палачинки за LPE PE3061S 6'' вафли, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализирано, купуване, усъвършенствано, издръжливо, произведено в Китай