Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие

VeTek Semiconductor е преживял много години технологично развитие и е усвоил водещата технологична технология за CVD TaC покритие. Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие е един от най-зрелите продукти на VeTek Semiconductor с CVD TaC покритие и е важен компонент за получаване на SiC кристали чрез PVT метод. С помощта на VeTek Semiconductor вярвам, че вашето производство на SiC кристали ще бъде по-плавно и по-ефективно.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Материалът за монокристален субстрат от силициев карбид е вид кристален материал, който принадлежи към полупроводниковия материал с широка лента. Той има предимствата на устойчивост на високо напрежение, устойчивост на висока температура, висока честота, ниска загуба и т.н. Това е основен материал за подготовката на мощни електронни устройства и микровълнови радиочестотни устройства. Понастоящем основните методи за отглеждане на SiC кристали са физическият транспорт на парите (PVT метод), високотемпературното химическо отлагане на парите (HTCVD метод), методът на течната фаза и др.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

PVT методът е сравнително зрял метод, който е по-подходящ за промишлено масово производство. Чрез поставяне на SiC зародишния кристал в горната част на тигела и поставяне на SiC праха като суровина на дъното на тигела, в затворена среда с висока температура и ниско налягане, SiC прахът се сублимира и се прехвърля нагоре към околността на зародишния кристал под действието на температурен градиент и разлика в концентрацията и рекристализира след достигане на свръхнаситено състояние, контролируемият растеж на размера на кристала SiC и специфичния тип кристал може да бъде постигнато.

Основната функция на направляващия пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие е да подобри механиката на флуидите, да насочва газовия поток и да помогне на зоната за растеж на кристала да получи равномерна атмосфера. Той също така ефективно разсейва топлината и поддържа температурния градиент по време на растежа на SiC кристалите, като по този начин оптимизира условията на растеж на SiC кристалите и избягва кристалните дефекти, причинени от неравномерно разпределение на температурата.

Отлично представяне на CVD TaC покритие

● Свръхвисока чистота: Предотвратява генерирането на примеси и замърсяване.

● Висока температурна стабилност: Висока температурна стабилност над 2500°C позволява работа при ултрависоки температури.

● Устойчивост на химическа среда: Толерантност към H(2), NH(3), SiH(4) и Si, осигуряваща защита в сурови химически среди.

● Дълъг живот без линеене: Силното свързване с графитното тяло може да осигури дълъг жизнен цикъл без отпадане на вътрешното покритие.

● Устойчивост на термичен удар: Устойчивостта на термичен удар ускорява работния цикъл.

●Строга толерантност на размерите: Гарантира, че покритието на покритието отговаря на строги толеранси на размерите.

VeTek Semiconductor разполага с професионален и зрял екип за техническа поддръжка и екип по продажбите, който може да приспособи най-подходящите продукти и решения за вас. От предварителни продажби до следпродажбени услуги, VeTek Semiconductor винаги се ангажира да ви предостави най-пълните и всеобхватни услуги.

Физични свойства на TaC покритието

Физични свойства на TaC покритието
TaC покритие Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост на покритието TaC (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)
Топлопроводимост	9-22 (W/m·K)

VeTek Semiconductor CVD TaC покритие с три венчелистчета водещи пръстени продуктови магазини

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

Горещи маркери: Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализиран, купува, усъвършенстван, издръжлив, произведен в Китай

Продуктов етикет

Свързана категория