Краен ефектор за обработка на вафли

Крайният ефектор за обработка на вафли е вид ръчен робот, проектиран специално за полупроводниковата индустрия, обикновено използван за обработка и прехвърляневафли. Производствената среда на вафлите изисква изключително висока чистота, тъй като малки частици или замърсители могат да доведат до повреда на чиповете по време на обработката. Керамичните материали са широко използвани в производството на тези ръце поради техните отлични физични и химични свойства.

В сравнение с традиционните метални материали, предимствата накерамикав материалите се отразяват главно в следните аспекти:

    •Устойчивост на корозия: Вафлите са изложени на различни химикали по време на производствения процес, а керамичните материали могат ефективно да устоят на корозия и да осигурят дългосрочна употреба на оборудването.

    •Ниско отделяне на частици: Тъй като керамиката има изключително ниско отделяне на частици, тя почти няма да произвежда частици по време на процеса на работа, като по този начин намалява риска от замърсяване на пластината.

    •Добра устойчивост на висока температура: При някои процеси вафлите трябва да се обработват в среда с висока температура и устойчивостта на висока температура на робота за обработка на вафли от керамични материали им позволява да се адаптират към тези тежки среди.

    •Електрическа изолация: Керамиката е естествен електрически изолатор, което е от съществено значение за процесите на обработка, включващи ток, и може да предотврати въздействието на статичното електричество върху пластините.

Конвенционалното оборудване за работа с вафли е изработено от алуминий, VetekSemi Vafer Handling SiC Boat, изработено от SiC, има много предимства. SiC е известен със своята отлична механична якост, превъзходна термична стабилност и устойчивост на корозия. Тези свойства го правят идеален материал за роботизирана ръка за обработка на вафли, където чистотата, прецизността и надеждността са критични.

С непрекъснатото развитие на полупроводниковата технология, размерът на пластините постепенно се увеличава, което поставя по-високи изисквания за проектиране и производство на краен ефектор за обработка на пластини. В бъдеще, с подобряването на технологията за автоматизация, прецизността, скоростта и надеждността на крайния ефектор за работа с вафли ще продължат да се подобряват.

Като едно от основните съоръжения в производството на полупроводници, роботите за обработка на пластини заемат важна позиция във фабриките за полупроводници поради тяхната висока чистота, устойчивост на корозия и висока температурна стабилност. VeTek Semiconductor може да предостави на клиентите персонализирани продукти за краен ефектор за работа с вафли и предпродажбени и следпродажбени услуги и очаква с нетърпение вашата консултация.

VeTekSemКраен ефектор за обработка на вафли: