Керамичен вакуумен патронник от алуминий

Керамичният вакуумен патронник е държач за пластини за епитаксиални процеси при обработка на полупроводници. Това е ключов инструмент за стабилизиране на вафли и осигуряване на равномерен растеж на епитаксиалните слоеве. Той се използва широко в епитаксиално оборудване катоMOCVDиLPCVD.

Керамичният вакуумен патронник VeTek Semiconductor Alumina играе жизненоважна роля в етапите на изтъняване и смилане на пластини при производството на полупроводници. Тези етапи включват точно намаляване на дебелината навафлен субстратза подобряване на разсейването на топлината на чипа, което е от съществено значение за подобряване на ефективността и живота на полупроводниковите устройства.

Съвместим с множество размери вафли: Керамичният вакуумен патронник VeTek Semiconductor Alumina е проектиран да поддържа широк диапазон от размери на пластини, включително 2, 3, 4, 5, 6, 8 и 12 инча. Тази адаптивност го прави подходящ за различни среди за производство на полупроводници, осигурявайки последователна и надеждна производителност при различни размери на пластини.

Превъзходен състав на материала: Основата на алуминиевия керамичен вакуумен патронник е направена от изключително чист 99,9999% алуминиев оксид (Al₂O₃), който предлага отлична устойчивост на химическа атака и термична стабилност. Повърхността на патронника е порестасилициев карбид (SiC). Порестият керамичен материал има плътна и равномерна структура, което подобрява неговата издръжливост и експлоатационни качества.

Ползи отТехнология на пореста керамика：

Чистота на материала и издръжливост: Изработен от 99,99% чист алуминиев оксид, нашият алуминиев керамичен вакуумен патронник е устойчив на химическа атака и предлага отлична термична стабилност, което го прави идеален за изключително взискателни производствени среди.

Оптимална порьозност и въздухопропускливост: Равномерно разпределените микропори осигуряват отлична пропускливост на въздуха и равномерна адсорбционна сила, което води до гладка и последователна работа.

Подобрена плоскост и паралелизъм: Керамичните вакуумни патронници с микропорест алуминий имат отлична плоскост и успоредност, осигурявайки прецизно боравене с пластини и стабилност.

Персонализирани възможности за обслужване: VeTekSemi може да предостави разнообразие от адаптивни форми, включително кръгли, квадратни, пръстеновидни и други дизайни, с дебелина, варираща от 3MM до 10MM. Това персонализиране гарантира, че нашите алуминиеви керамични вакуумни патронници отговарят на специфичните нужди на различните производствени процеси на полупроводници и определено са вашият идеален избор.

VeTek Semiconductorсе ангажира да предоставя модерни технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия и ние искрено се надяваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

TheХимическа формула наалуминиева керамика：

VeTek SemiconductorМагазини за керамични вакуумни патронници: