В полупроводниковия процес транспортирането на пластини е особено важно. Полупроводниковите кварцови лодки са много добри при транспортиране на пластини и са подходящи за процеси като дифузия, окисление и CVD. VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на полупроводникови кварцови лодки в Китай и е в състояние да предостави на клиентите изключително персонализирани продукти. Добре дошли при вашата допълнителна консултация.
Полупроводниковата кварцова лодка е кварцов продукт с висока чистота, използван в процеса на производство на полупроводници. Основната му функция е да носи и пренася вафли във високотемпературни пещи. Той се използва широко в прецизни индустрии като полупроводници, оптоелектроника и светодиоди. Подходящ за дифузия, окисление, CVD и други процеси.
• Висока чистота: Полупроводниковата кварцова лодка използва кварцов материал с висока чистота с изключително ниско съдържание на примеси, като ефективно избягва замърсяването с метални йони и е подходяща за изискванията за чиста среда на полупроводниковите процеси.
• Устойчивост на висока температура: Има отлична устойчивост на висока температура и може да се използва стабилно дълго време в среда до 1200 ℃.
• Устойчивост на корозия: Има добра устойчивост на корозия към повечето химични реагенти като киселини и основи, така че може да се адаптира към химическата среда в полупроводниково оборудване като CVD пещи.
•Добра термична стабилност: Нисък коефициент на топлинно разширение, не се деформира лесно при нагряване, подходящ за чести процеси на нагряване и охлаждане.
Параметри
Спецификации
Материал
Кварц с висока чистота
Външен диаметър
Персонализирано според изискванията
Дължина
Персонализирано според изискванията
Термична стабилност
Стабилна работа при 1200°C
• Подобряване на производствената ефективност: компактен дизайн, лесно прехвърляне на пластини и подобрен капацитет на процеса.
• Намалете риска от замърсяване: кварцов материал с висока чистота, намаляващ замърсяването с следи от примеси в процеса.
• Дълъг живот и издръжливост: устойчивост на висока температура и корозия, подходящ за високочестотна употреба, намалявайки разходите за подмяна.
Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя на клиентите висококачествени кварцови продукти за лодки с висока чистота. Всички продукти са строго контролирани за качество, за да се гарантира, че отговарят на високите стандарти на полупроводниковата индустрия.