ALD стопен кварцов пиедестал

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal играе ключова роля в процеса на производство на полупроводници като поддържаща структура закварцова лодка, който се използва за задържане навафла. Стопеният кварцов пиедестал помага за постигане на равномерно отлагане на филм чрез поддържане на стабилна температура, което пряко влияе върху производителността и надеждността на полупроводниковите устройства. Освен това кварцовият пиедестал осигурява равномерно разпределение на топлината и светлината в процесната камера, като по този начин подобрява цялостното качество на процеса на отлагане.

Предимства на материала за пиедестал от стопен кварц ALD

Устойчивост на висока температура: Точката на омекване на пиедестала от стопен кварц е около 1730°C и може да издържи на работа при висока температура от 1100°C до 1250°C за дълго време и може да бъде изложен на екстремни температурни среди до 1450°C за кратко време.

Отлична устойчивост на корозия: Топеният кварц е силно химически инертен към почти всички киселини, с изключение на флуороводородна киселина. Неговата киселинна устойчивост е 30 пъти по-висока от керамиката и 150 пъти по-висока от неръждаемата стомана. Топеният кварц е химически несравним при високи температури, което го прави идеален материал за сложни химични процеси.

Термична стабилност: Ключова характеристика на материала Fused Quartz Pedestal е неговият изключително нисък коефициент на топлинно разширение. Това означава, че може лесно да се справи с драматични температурни колебания, без да се напука. Например разтопеният силициев кварц може бързо да се нагрее до 1100°C и да се потопи директно в студена вода без повреда, важна характеристика при условия на производство с висок стрес.

Строг производствен процес: Производственият процес на пиедестали от стопен силициев диоксид стриктно се придържа към високи стандарти за качество. Производственият процес използва процеси на горещо формоване и заваряване, които обикновено се извършват в чиста стая от клас 10 000. След това пиедесталът от стопено кварцово стъкло се почиства старателно с ултрачиста вода (18 MΩ), за да се осигури чистота на продукта и оптимална производителност. Всеки завършен продукт се инспектира стриктно, почиства и опакова в чиста стая от клас 1000 или по-висока, за да отговаря на високите стандарти на полупроводниковата индустрия.

Непрозрачен силициев кварцов материал с висока чистота

VeTeksemi ALD стопен кварцов пиедестал използва непрозрачен кварцов материал с висока чистота за ефективно изолиране на топлина и светлина. Неговите отлични топлозащитни и светлинни екраниращи свойства му позволяват да поддържа равномерно разпределение на температурата в процесната камера, осигурявайки еднородност и консистенция на тънкиотлагане на филмвърху повърхността на вафлата.

Полета за приложение

Пиедесталите от стопен кварц се използват широко в много области на полупроводниковата индустрия поради отличната им производителност. Впроцес на отлагане на атомен слой (ALD)., той поддържа прецизен контрол на растежа на филма и гарантира напредъка на полупроводниковите устройства. Впроцес на химическо отлагане на пари при ниско налягане (LPCVD)., термичната стабилност и способността за екраниране на светлината на кварцовия пиедестал с висока чистота осигуряват гаранции за равномерно отлагане на тънки филми, като по този начин подобряват производителността и добива на устройството.

В допълнение, в процеса на дифузионна пластина, устойчивостта на висока температура и устойчивостта на химическа корозия на Fused Quartz Pedestal осигуряват надеждността и последователността на процеса на легиране на полупроводниковия материал. Тези ключови процеси определят електрическите характеристики на полупроводниковите устройства и висококачествените материали от стопен кварц играят незаменима роля за постигането на най-добри резултати от тези процеси.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal магазини: