CVD SiC покритие Епитаксиален приемник

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor на VeTek Semiconductor е прецизно проектиран инструмент, предназначен за работа и обработка на полупроводникови пластини. Този SiC Coating Epitaxy Susceptor играе жизненоважна роля в насърчаването на растежа на тънки филми, епилаери и други покрития и може прецизно да контролира температурата и свойствата на материала. Приветстваме вашите допълнителни запитвания.

Изпратете запитване

Описание на продукта

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor е видMOCVD LED Epi Suceptor, който играе централна роля в CVD реактора. Като Epi Susceptor, той е не само източник на топлина, но също така осигурява стабилна поддържаща платформа за субстрата по време на процеса на отлагане.SiC покритиеможе ефективно да намали окисляването и замърсяването на Graphite Susceptor в среда с висока температура, като по този начин гарантира високата чистота на отложения материал.

Основенфизични свойства на CVD SiC покритие:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност	3,21 g/cm³
твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC покритие Epitaxy Susceptor Предимства на продукта:

● Прецизно отлагане: С CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor можете да постигнете прецизно контролирано отлагане на тънки филми и покрития, за да получите висококачествени и повтарящи се резултати.

● Намалено замърсяване: SiC покритието минимизира риска от замърсяване отEpi Suceptorбазиран на графит, гарантиращ чистотата на депозирания материал.

● Издръжливост: SiC покритието подобрява устойчивостта на окисляване и устойчивостта на химическа корозия на Graphite Epitaxy Susceptor, което му осигурява по-дълъг експлоатационен живот и по-висока надеждност.

VeTek Semiconductorсе ангажира да предоставя висококачествени продукти и конкурентни цени. Дали е такаАко EPI приемникътили Графитен EPI Susceptor с висока чистота, можем да отговорим на вашите нужди. Очакваме с нетърпение да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

VeTek SemiconductorCVD SiC покритие Epitaxy Susceptor Продуктови магазини:

Горещи маркери: CVD SiC покритие Epitaxy suceptor, Китай, Производител, Доставчик, Фабрика, Персонализирано, Купете, Разширено, Издръжливо, Произведено в Китай

Продуктов етикет

Свързана категория